如何选择LED外延片的衬底材料

（1）      衬底与外延膜的结构匹配：外延材料与衬底材料的晶体结构相同或相近、晶格常数失配小、结晶性能好、缺陷密度低。


（2）      衬底与外延膜的热膨胀系数匹配：热膨胀系数的匹配非常重要，外延膜与衬底材料在热膨胀系数上相差过大，不仅可能使外延质量下降，还会在器件工作过程中因发热而造成器件的损坏。


（3）      衬底与外延膜的化学稳定性匹配：衬底材料要有好的化学稳定性，在外延生长的温度和气氛中不易分解和腐蚀，不能因为与外延膜的化学反应使外延膜质量下降。


（4）      材料制备的难易程度及成本的高低；考虑到产业化发展的需要，衬底材料的制备要求简捷，成本不宜很高；衬底尺寸一般不小于2英寸。